چکيده
سيستم هاي در اين تحقيق، ابتدا به مقدمه اي كوتاه درباره سيستمهاي ميكروالكترو مكانيكي پرداخته شده سپس كارهاي متداول انجام شده در اين زمينه شامل طراحي انواع مختلف ميكرو سوئيچها و ميكروسنسورها و شتابسنجهاي پركاربرد مورد مطالعه قرار گرفته است. در واقع آنچه كه در چند دهه اخير در مورد اين سيستمها توسط محققان در سرتاسر دنيا و همينطور صاحبان صنعت مخصوصا صنعت خودرو انجام شده مورد بررسي قرار گرفته است.ميكرو الكترومكانيكي داراي مزيت هاي فراواني نسبت به سيستم ها و ابزارهاي معمول مي باشد. اين مزيت شامل اندازه بسيار كوچك، وزن كم، فرايند هاي ساخت نسبتا ارزان، مصرف انرژي پايين و قابليت تركيب و سازگاري بالا با مدارات مجتمع مي باشد. بنابراين توجه روزافزوني به اين نوع ساختارها در دنيا براي ساخت ابزارهايي با هدف معين و كاربرد جديد در دنيا وجود دارد. تاكنون ابزارهايي از قبيل شتاب سنج ها براي تحريك كيسه هواي اتومبيل ها، حسگرهاي فشار، دماسنج ها و ميكروپمپ ها نمونه هاي معروف و موجود در بازار مي باشند.
