چکيده
در اين سمينار ادوات مطرح فركانس بالا در فناوري سيستم هاي ميكروالكترومكانيكي MEMS مورد ارزيابي قرار مي گيرد. ازجمله مشكلاتي كه سازه هاي MEMS با آن مواجهند مي توان به ولتاژ باياس بالا، بهينه نبودن پارامتر هايي نظير اتلاف عبور و ايزولاسيون، غير خطي بودن خواص تغيير دهنده هاي فاز و ... اشاره نمود.
در ابتداي اين سمينار به ذكر مقدمه اي از سيستم ميكرو الكترومكانيكي پرداخته مي شود و در ادامه به بررسي قطعات RF MEMS مانند سوئيچ ها ، فيلترها ، تغييردهنده هاي فاز و فرآيند و فناوري ساخت آنها مي پردازيم.
MEMS با تلفيق ميكروالكترونيك سيليكوني با فناوري ماشين كاري ميكروني، نويد تحول را در تقريباً هرنوع محصولي مي‌دهد تا به اين ترتيب به ايجاد ساختار مكانيكي بر روي تراشه جامه عمل بپوشاند. اين فناوري بسيار توانا بوده و با درك و كنترل قابليت هاي ميكروسنسورها و ميكرو محرك ها و به همراه آوردن توانايي محاسبات دستگاه هاي ميكروالكترونيكي، موجب پيشرفت در توليدات هوشمند الكترونيك شده است .
