چکيده
سيستم‌هاي ميكروالكترومكانيكي فنّاوري سيستم هاي بسيار كوچك در ابعاد ميكرومتر است. معمولاً مِمز از قطعات بين 1 تا 100 ميكرومتري تشكيل شده و ابعاد سيستم هاي ممزي از 20 ميكرومتر تا 1 ميليمتر متغيّر است. در صنعت خودرو نيز استفاده از ممز در سالهاي اخير به طور چشمگيري افزايش يافته است. از اين دستگاه ها به عنوان سنسور و عملگر در خودروها استفاده مي شود. شتابسنج، ژيروسكوپهاي ممزي، سنسور ايربگ، سنسور تشخيص چپ كردن و لغزيدن سنسور فشار باد تاير و ... نمونه هايي از كاربرد مِمز در حوزه خودرو مي باشد. براي مثال، سيستم مانيتورينگ فشار باد تاير، يك سيستم الكترونيكي بوده كه به منظور نمايش فشار داخل تاير در خودرو طرّاحي شده است. اين سيستم ها از طريق فنّاوري بي‌سيم اطّلاعات را به كاربر نمايش مي دهند. به دليل مشكلات تعويض باتري در اين سنسورها و عدم امكان سيم كشي برق به داخل تاير اخيراً از صفحات پيزوالكتريك به عنوان منبع تغذيه اين سنسورها استفاده مي شود. اين صفحات هنگامي كه تحت نوسان قرار بگيرند توليد الكتريسيته مي كنند. به منظور استفاده از حداكثر راندمان و توليد توان مناسب، بايد فركانس ناشي از نوسان اين صفحات با فركانس طبيعي جادّه برابر شده تا رزونانس اتفّاق بيفتد. به دليل اختلاف بازه فركانس رزونانسي اين ساختارها در تئوري و ساخت، اين پهناي باند اُفت كرده و بازده صفحه پيزوالكتريك براي استحصال انرژي كاهش مي يابد. براي رفع اين مشكل بايد پهناي فركانسي ساختار را افزايش داده يا اصطلاحاً آن را تنظيم يا تيون نماييم. اين روش معمولاً با تنظيم سفتي يا ثابت فنر بخش‌هايي از اين ساختارها صورت مي‌گيرد. در اين سمينار به بررسي انواع روشهاي تيونينگ ساختارهاي مِمزي مانند الكترواستاتيكي، پيزوالكتريك، مكانيكي، الكترومغناطيسي، گرمايي، و روشهاي هيبريد مي پردازيم.
