چکيده
با پيشرفت تكنولوژي، امروزه نياز به داشتن لوازم اندازه گيري دقيق تر در صنعت، پزشكي، كشاورزي، هوافضا و ساير علوم بيش از پيش احساس مي‌گردد. در همين راستا، پيشرفت در فناوري ساخت ريز تراشه ها (IC ها) سبب ظهور تكنولوژي سيستم هاي ميكروالكترومكانيكي MEMS با دقت كاركردي بالا و ايجاد امكان ساخت دسته اي از ساختارها، ديوايس ها و سيستم هاي مكانيكي در ابعاد ميكرون و بكارگيري در حوزه هاي كاربردي شامل شتاب سنج ها، سنسور هاي فشار، ژيروسكوپ، ميكرواپتيك و ...گرديده و اين امكان را براي تحول در زندگي انسان فراهم ساخته است. جاذبه هاي تجاري فناوري MEMS مربوط به كم هزينه بودن توليد با حجم بالا، فاكتور ذاتي كوچكي ابعاد در مقياس ميكرون، جرم و توان مصرفي پايين، استحكام توام با دقت بسيار زياد موجب گرديده كه اين فناوري ضمن كاربرد در حوزه هاي مختلف، يكي از كاربردي ترين فناوري ها در حوزه ماموريت هاي فضايي در ماهواره ها قرار گيرد. در اين تحقيق ضمن آشنايي كلي با اين تكنولوژي نو، زمينه ها و كاربردهاي آن، به بررسي روش هاي طراحي و ساخت يكي از كاربردهاي رايج اين فناوري در حوزه "حسگرهاي اينرسي" (IMS) كه در زمينه هاي گوناگون اعم از ناوبري اينرسي، سيستم هاي هدايت و فرمان، سيستم هاي ايربگ خودرو، سيستم هاي كنترل حركت و ...استفاده مي‌گردند، خواهيم پرداخت.
