چکيده
چكيده
امروزه استفاده از پوشش ها در صنايع مختلف بسيار مقرون به صرفه است؛ و اغلب كاربرد پوشش ها به منظور
اهداف متفاوتي از قبيل افزايش سختي، مقاومت به سايش، مقاومت به خوردگي، هدايت حرارتي و الكتريكيي
است به همين دليل روش هاي متفاوتي متناسب با نوع پوشش و كاربرد و شرايط محيطي و ... جهيت پوشيش
دهي وجود دارد كه مدام در حال ارتقاء مي باشند.
از ميان روش هاي مختلفي كه براي پوشش دهي وجود دارد )مانند:CVD ،آبكاري، اسيرري حرارتيي، سيل ژل
و..(،كندوپاش واكنشي يكي از روشهاي اليه نشاني از فاز بخار است كه بهطور عمده براي توليد پوشش هايي از
مواد با نقطه ذوب باال و يا پوشش هاي چندجزئي با ضخامت ميكرو تا نانو مورد استفاده قرار مي گيرد. بيا ايين
روش مي توان طيف وسيعي از پوشش ها را براي كاربردهاي متنوع )نظير: توليد هيارد ديسي كيامريوتر، در
صينعت نيمرسياناها بيراي رسيوب دادن الييههاي نياز از ميواد مختليف بير روي تراشيههاي الكترونيكيي،
توليد ترانزيستورها، پوشش كم تشعشع بر روي شيشه هاي دوجداره و...( ايجاد كرد.
رسوب دادن بخار فلزهاي گران قيمت مانند تيتانيوم با روش كندوپاش واكنشي بيشتر كاربردهاي تزييني دارد.
TiO2 پوشش
، كه در زمينه خود تميز شونده ها مطرح هستند و پوشش هاي ديگري نظير Cu3N و... كيه بيه
روش كندوپاش واكنشي تهيه مي شوند، داراي كاربردهاي گسترده اي در صنعت الكتروني ، دي الكتري هيا،
خودرو، پره هاي توربين، سلول هاي خورشيدي و... دارند.
در اين سمينار، تاريخچه، كاربرد و انواع فرآيندهاي كندوپاش به طور خالصه اشاره شده است. در ادامه به طور
مشروح در رابطه با سيستم كندوپاش واكنشي، عوامل كنترل كننده سيستم و پوشش هايي كه با اين فرآينيد
ايجاد مي شوند، توضيح داده شده است.
