10612

10612

بررسي خواص اپتيكي و مكانيكي فلزات و آلياژهاي مختلف در ناحيه فروسرخ نزديك و ساخت توري پـراش بازتابي با بازدهي پراش و آستانه تخريب بالا

كارشناسي ارشد

فيزيك - فوتونيك

شهريورماه 1391

شهريورماه 1391

دكتر حبيب مجيدي ذوالبنين - دكتر محمدهادي ملكي

مهندس ناصر پرتوي شبستري

توري‌هاي پراش فلزي براي استفاده در سيستم‌هاي جمع كننده و پهن كننده پالس‌هاي ليزري مورد توجه بسياري از محققان در سرتاسر جهان هستند. تحقيق حاضر به بررسي ساخت توري‌هاي پراش فلزي براي استفاده در ناحيه فروسرخ نزديك مي‌پردازد. براي ساخت اين توري‌ها از پارامترهاي بهينه شده بر اساس نيم‌رخ سوپر گوسي استفاده شده است. بر اساس مطالعات انجام شده فلز نقره كه با يك يا چند لايه دي الكتريك محافظت مي‌شود مناسب‌ترين گزينه براي پوشش‌دهي اين توري‌ها مي‌باشد. به دليل حساسيت بازدهي پراش به شكل و عمق شيارهاي ايجاد شده، مرحله به مرحله فرآيند ساخت را به دقت كنترل و بهينه سازي نموديم. در اين پژوهش براي بهينه سازي فرآيند نوردهي ارتعاشات محيطي كاهش داده شده و از يك سيستم پايدار كننده فريزهاي تداخلي استفاده شده است . فرآيند ظهور را با كنترل دما و دبي آب مورد استفاده براي شستشوي توري‌هاي ظاهر شده بهينه نموديم. به دليل وجود خطاهاي اجتناب ناپذير در هنگام نوردهي و ظهور توري، سعي كرديم تا با جستجو در اطراف مقادير بهينه تئوري مقادير بهينه عملي را بيابيم. با انجام اين كار انرژي نوردهي و زمان ظهور بهينه عملي مشخص شد. در نهايت بر روي توري‌هاي به دست آمده به وسيله تبخير حرارتي nm300 فلز نقره و nm30 SiO2 براي محافظت نقره از اكسيدشدن لايه نشاني شد. بيشينه بازدهي پراش به دست آمده براي توري‌هاي ساخته شده در طول موج nm808 و برابر %80 است. براي مشخصه نمايي سطح توري نيز از ميكروسكوپ AFM استفاده شد. واژه‌هاي كليدي: فوتورزيست، توري پراش فلزي، بازدهي پراش، آستانه تخريب، نقره محافظت‌ شده