چكيده
چكيده
در اين پايان نامه تخليه با استفاده از الكترود هاي سهمي شكل با گاز آرگو ن بررسي شده است . اين شبيه سازي با حل عددي معادلات در رهيافت ماكروسكوپي براي ولتاژ پالسي و همچنين بوسيله نرم افزار پلازيمو شبيه سازي شده است. سطح مقطع واكنش هاي مختلف درگير در پلاسماي آرگون،از نرم افزار ديگري بنام بولسينگ استخراج شده است.
نتايج شبيه سازي نشان مي دهد كه در يك ولتاژ پالسي وقتي دو الكترود در تماس مستقيم با گاز قرار گيرد ،از همان ابتدا كه ولتاژ بصورت خطي درحال افزايش است، جريان بوجود مي آيد و افزايش مي يابد و در محدوده اي كه ولتاژ ثابت است به حداكثر مقدار خود مي رسد.
واژه‌هاي كليدي:پلاسماي آرگون ،تخليه با الكترود سهمي شكل،مشخصات الكتريكي تخليه.
