12893

12893

تهيه و شناسايي بستر نانو ذراتTiO2آلاييده شده با فلزنيوبيوم (Nb)و بررسي خواص آنها به عنوان اكسيد رساناي شفاف (TCO)

كارشناسي ارشد

فيزيك - حالت جامد

بهمن 1392

بهمن 1392

دكتر محمد‌رضا زماني ميميان - دكتر رحمت‌الله رحيمي

چكيده لايه هاي نازك دي اكسايد تيتانيوم آلاييده شده با نئوبيوم (Ti0.94Nb0.06O2) با استفاده از روش سل ژل و دستگاه لايه نشان چرخشي بر روي زيرلايه كوارتز تهيه شده اند. مقدار غلظت (Ti+Nb) در محلول سل ژل در دو غلظت مختلف 1/0 مولار و 4/0 مولار تهيه شده است.همه لايه ها ابتدا در دماي 100 درجه سانتيگراد به مدت 10 دقيقه خشك شده اند، همچنين عمليات بازپخت به سه شيوه مختلف صورت پذيرفته است. براي بازپخت در روش اول ابتدا لايه به مدت 30 دقيقه در دماي 300 درجه سانتيگراد و در فشار 3-10*8 ميلي بار قرار گرفته و سپس به مدت يك ساعت در دماي 550 درجه سانتيگراد و در فشار 6-10*5 ميلي بار حرارت داده شد. روش دوم مانند روش اول بوده با اين تفاوت كه بازپخت اوليه در فشار جو انجام شده و در روش سوم به مدت يك ساعت در دماي 550 درجه سانتيگراد و در فشار 6-10*5 ميلي بار حرارت داده شد. اثرات شيوه هاي مختلف بازپخت بر شفافيت، رسانايي، مورفولوژي و بلورينگي نمونه ها نيز بررسي شده است. مشخص شده است كه بازپخت به شيوه اول راهي مناسب براي بهبود رسانايي لايه ها بوده است كه با اين شيوه به كمينه مقاومت سطحي در حدود Ω/□2/1(□≡cm2) رسيده ايم. همچنين نشان داده شده است كه روش سل ژل روشي مناسب دردستيابي به ساختار كريستالي آناتاز براي لايه نازكTNO است.همچنين به طور تقريبيشفافيت لايه‌ها در حدود 50% به‌دست آمده است. واژه‌هاي كليدي:تيتانيوم اكسايد‌- نيوبيوم‌- سل ژل‌- لايه نازك‌- اكسيد رساناي شفاف