چكيده
چكيده
كوري براي بيماري‌هايي نظير دژنراسيونماكولاورتينيتپيگمنتوزا با روش‌هاي پزشكي قابل درمان نيستند. براي درمان اين بيماري‌ها از تراشه‌هاي الكترونيكي استفاده مي‌شود. هدف از اين پايان‌نامه طراحي آرايه فوتوديودي به عنوان قسمتي از اين تراشه است.جهت تحقق اين امر از كاشت نوع روشبكيه‌اي استفاده شده است. انواع روش‌هاي متداول كاشت شبكيه بررسي شده و از جهات مختلف مقايسه شده‌اند. جهت طراحي آرايه فوتوديودي از فوتوديود نوع تابيده جلويي استفاده شده است. طراحي بر پايه مشخصه‌هاي فناوري استاندارد سيليكون 90 نانومتر انجام شده است. براي طراحي از نرم‌افزار سيلواكو و كد نويسي در Deckbuildاستفاده شده است. براي فوتوديود طراحي شده نوفه همشنوايي و بازده كوانتومي فوتوديود بهينه‌سازي شده است. براي بهينه سازي نوفه همشنوايي چهار نوع جداسازي LOCOS, DTI, DTIپشتي, STIشبيه‌سازي و نتايج آن با هم مقايسه شده‌اند. مقدار بازده كوانتومي فوتوديود طراحي شده بيش از 90 درصد است. همچنين مقدار جريان تاريكي nA/cm274.6اندازه‌گيري شده است. در بين روش‌هاي كاهش همشنوايي DTIپشتي بهترين نتيجه را داشته و همشنوايي حدود 5 درصد را نتيجه مي‌دهد.
كليدواژه‌ها: تابيده پشتي فوتوديود;;BSI photodiode شبكيه مصنوعي; پروتز شبكيه
