15182

15182

كندگي ليزري پليمر PMMA جهت ايجاد ميكروكانال‌هاي سه ‌بُعدي

كارشناسي ارشد

اتمي مولكولي

آبان ماه 1394

آبان ماه 1394

دكتر محمود ملاباشي - دكتر هديه پازكيان

فيزيك

چكيده امروزه، تراشه¬هاي ميكروشاره براي كاربردهاي گوناگوني به‌خصوص كاربردهاي پزشكي، ساخته و روانه بازار مي¬شوند. در ميان روش¬هاي ساخت، كندگي با ليزرهاي فمتوثانيه از اهميت ويژه¬اي برخورداراست؛ چراكه در اين روش، آسيب¬هاي حرارتي كمتري به ماده وارد مي¬شود و كندگي تميزتري، مشاهده خواهد شد. از سويي ديگر كندگي با ليزرهاي نانوثانيه، اگرچه به كيفيت ليزرهاي فمتوثانيه نمي¬رسند، ولي مي¬توان به ساختارهايي باكيفيت مناسب و با ابعادي در حدود پنجاه تا دويست ميكرون دست¬يافت. در اين پايان¬نامه به مطالعه كندگي مستقيم توسط ليزرهاي نانوثانيه پرداخته‌شده است. چشمه¬هاي نوري استفاده¬شده، هماهنگ دوم ليزر Nd:YAG (𝜏~8 𝑛𝑠) و ليزر CO2 (TEA, λ=10.6 μm, τ~9 ns) مي¬باشند. همچنين تأثير پارامترهاي اين دو ليزر بر روي ابعاد و كيفيت ميكروكانال¬ها بررسي‌شده‌اند. واژه‌هاي كليدي: تراشه ميكروشاره، ميكروكانال، كندگي با ليزر نانوثانيه، ميكروماشين‌كاري ليزري، پارامترهاي ليزري