28379

استفاده از تشديد پلاسمون سطحي جهت اندازه‌گيري لايه‌نازك فلزي طلا

كارشناسي ارشد

فيزيك گرايش اپتيك و ليزر

1399

1401/12/13

آقاي دكتر محمد حسين مهديه

فيزيك

در اين پايان‌نامه با استفاده از تشديد پلاسمون سطحي، ضخامت يك‌لايه نازك نانويي طلا اندازه‌گيري شده است. تشديدگر يك منشور (از شيشه BK7 و با زاويه رأس 90 درجه) مي‌باشد كه لايه‌نازك فلز طلا (كه ضخامت آن تحت اندازه‌گيري است) روي قاعده آن به روش اسپاترينگ لايه نشاني شده است. انعكاس از فصل مشترك طلا و منشور براي ضخامت‌هاي مختلف طلا محاسبه شد. همچنين به‌صورت تجربي انعكاس از فصل مشترك طلا و منشور در نمونه ساخته نيز اندازه‌گيري شد. با مقايسه نتيجه تجربي و نتايج محاسباتي، ضخامت فلز طلا بادقت نسبتاً خوبي اندازه‌گيري شد. اطلاعات اين تحقيق براي كاليبره كردن زمان فرآيند اسپاترينگ براي ساخت لايه‌هاي نازك استفاده مي‌شود.

1402/03/21

Using surface plasmon resonance to measure gold metal thin layer

3/3/2024 12:00:00 AM

In this thesis, using surface plasmon resonance, the thickness of a thin gold nano layer has been measured. The resonator is a prism (made of BK7 glass and with a vertex angle of 90 degrees), which has a thin layer of gold metal (the thickness of which is measured) on its base by sputtering. The reflection from the gold-prism interface was calculated for different gold thicknesses. Also, the reflection from the junction of gold and prism in the manufactured sample was also experimentally measured. By comparing the experimental results and the calculation results, the thickness of the gold metal was measured with relatively good accuracy. The information from this research is used to calibrate the time of the sputtering process for making thin films.

تشديد پلاسمون سطحي , ضخامت‌سنجي , ليزر هليم نئون , فلز طلا

surface plasmon resonance , Thickness measurement , He-Ne Laser , Gold metal

davod feizi

Dr. Mohammad Hossein Mahdieh