سعيد اميري گلي لرز

Formation of oxynitride thin film on titanium sheets in the fluidized bed reactor envirement an‎d investigation of thin films properties

در پژوهش حاضر به ايجاد پوشش‌هاي لايه نازك اكسي نيتريدي بر روي ورق تيتانيوم در محيط راكتور بستر سيال و بررسي خواص پوشش پرداخته‌شده است. بدين منظور پوشش نيتريد تيتانيم و اكسيد تيتانيم برروي ورق تيتانيوم، با استفاده از كوره بسترسيال ايجاد شده است. الگوهاي پراش پرتو ايكس نشان دادند كه هر دو فاز روتيل و آناتاز اكسيد تيتانيم به همراه فاز نيتريد تيتانيم در نمونه‌هاي نيتريده شده تشكيل شده بودند كه با افزايش زمان نيتروژن‌دهي، شدت پيك‌هاي فاز TiN افزايش يافته بود. در تصاوير ميكروسكوپ الكتروني روبشي دندريت‌هاي شاخه اي مشاهده شد كه از سطح نمونه‌ها به سمت زيرلايه نفوذ كرده بودند و آناليز عنصري نشان داد كه اين دندريت‌ها از فاز نيتريد تيتانيم تشكيل شده‌اند. عمق نفوذ لايه نيتريدي - اكسيدي نيز با افزايش زمان نيتروژن‌دهي، از 72 ميكرومتر به 62 ميكرومتر رسيده است. از نمونه‌هاي نيتريد شده آزمون ميكروسختي سنجي به عمل آمد كه سختي نمونه 8 ساعت نيتريد شده نسبت به سختي نمونه عمليات نشده، افزايش 5 برابري داشت.

تيتانيوم , نيتروژن‌دهي , نيتريد تيتانيم , اكسيد تيتانيم , كوره بسترسيال