چکيده
كنترل ساختار سطح يكي از مهم ترين عوامل در افزايش كيفيت محصولات در صنايع مختلف ميباشد.
روشهاي بسياري براي بررسي ساختار سطح تا كنون معرفي شده است. نكته مهم در انتخاب روشهاي موجود
براي كاربردهاي مختلف، عدم تخريب، دقت كافي و كاربري آسان آنها ميباشد. روشهاي اپتيكي از دسته
روشهاي غير تماسي ميباشد كه مزاياي متعددي نسبت به ساير روشها دارند اما بسته به كاربرد و دقت
اندازهگيري بالا ) از مرتبه nm 10 - 1 (، فرآيندهاي پيچيده و زمان بري نياز است تا بتوان بهاين مهم دست
يافت. دراين پايان نامه تلاش شده است تا خطاي اندازهگيري ارتفاع ناهمواريها توسط روش تابش فريز، با
روش عددي بررسي شود. براي تحليل فريزهاي تابيده شده، روش تبديل موجك به كار گرفته شد. با انجام
شبيه سازي، مشاهده شد كه در صورت ثابت نگه داشتن فركانس مركزي موجك مادر و بدون تغيير ماهيت
آن، تنها با تغيير چيدمان آزمايشگاهي ميتوان دقت اندازهگيري را افزايش داد.
