چکيده
امروزه روش¬هاي مختلفي نظير استفاده از اشعه ايكس ، ميكروسكوپ انتقال الكتروني ، طيف‌نگاري جرمي يون ثانويه و ميكروسكوپ الكتروني روبشي براي بررسي و آناليز مواد وجود دارد كه با درنظر گرفتن پارامترهايي مثل وضوح تصوير، توانايي آناليز سطح يا لايه¬هاي دروني مواد، هزينه تمام شده و... هريك از جنبه¬هايي برتري دارند.
ميكروسكوپ الكتروني روبشي از معروف¬ترين روش¬هاي ميكروسكوپي به¬شمار مي¬رود و علاوه بر تهيه تصاوير بزرگ¬نمايي¬شده، درصورتي¬كه به تجهيزات اضافي مجهز شود، مي¬تواند براي آناليز شيميايي و ديگر بررسي¬ها نيز استفاده شود. اين ميكروسكوپ از جمله ميكروسكوپ¬هاي الكتروني مي¬باشد كه داراي وضوح بسيار بالاتري نسبت به ميكروسكوپ¬هاي نوري مي¬باشند. به¬عنوان مثال، با ميكروسكوپ¬هاي نوري مي¬توان به وضوحي تا حدود 200 نانومتر رسيد، درحالي¬كه با ميكروسكوپ¬هاي الكتروني نظير ميكروسكوپ الكتروني روبشي، وضوح تا حدود چند نانومتر و حتي پايين¬تر از يك نانومتر در دسترس است. مبناي اين ميكروسكوپ، برهم¬كنش پرتوي الكتروني با ماده است.
هدف از اين سمينار بررسي آشكارسازهاي مورد استفاده در ميكروسكوپ الكتروني روبشي است. در اين سمينار چند نوع از آشكارسازهاي الكتروني بررسي كلي شده و آشكارساز نيمه¬هادي با توجه به امكان ساخت آن مورد بررسي دقيق¬تري قرار گرفته است.
امروزه روش¬هاي مختلفي نظير استفاده از اشعه ايكس ، ميكروسكوپ انتقال الكتروني ، طيف‌نگاري جرمي يون ثانويه و ميكروسكوپ الكتروني روبشي براي بررسي و آناليز مواد وجود دارد كه با درنظر گرفتن پارامترهايي مثل وضوح تصوير، توانايي آناليز سطح يا لايه¬هاي دروني مواد، هزينه تمام شده و... هريك از جنبه¬هايي برتري دارند.
ميكروسكوپ الكتروني روبشي از معروف¬ترين روش¬هاي ميكروسكوپي به¬شمار مي¬رود و علاوه بر تهيه تصاوير بزرگ¬نمايي¬شده، درصورتي¬كه به تجهيزات اضافي مجهز شود، مي¬تواند براي آناليز شيميايي و ديگر بررسي¬ها نيز استفاده شود. اين ميكروسكوپ از جمله ميكروسكوپ¬هاي الكتروني مي¬باشد كه داراي وضوح بسيار بالاتري نسبت به ميكروسكوپ¬هاي نوري مي¬باشند. به¬عنوان مثال، با ميكروسكوپ¬هاي نوري مي¬توان به وضوحي تا حدود 200 نانومتر رسيد، درحالي¬كه با ميكروسكوپ¬هاي الكتروني نظير ميكروسكوپ الكتروني روبشي، وضوح تا حدود چند نانومتر و حتي پايين¬تر از يك نانومتر در دسترس است. مبناي اين ميكروسكوپ، برهم¬كنش پرتوي الكتروني با ماده است.
هدف از اين سمينار بررسي آشكارسازهاي مورد استفاده در ميكروسكوپ الكتروني روبشي است. در اين سمينار چند نوع از آشكارسازهاي الكتروني بررسي كلي شده و آشكارساز نيمه¬هادي با توجه به امكان ساخت آن مورد بررسي دقيق¬تري قرار گرفته است.
امروزه روش¬هاي مختلفي نظير استفاده از اشعه ايكس ، ميكروسكوپ انتقال الكتروني ، طيف‌نگاري جرمي يون ثانويه و ميكروسكوپ الكتروني روبشي براي بررسي و آناليز مواد وجود دارد كه با درنظر گرفتن پارامترهايي مثل وضوح تصوير، توانايي آناليز سطح يا لايه¬هاي دروني مواد، هزينه تمام شده و... هريك از جنبه¬هايي برتري دارند.
ميكروسكوپ الكتروني روبشي از معروف¬ترين روش¬هاي ميكروسكوپي به¬شمار مي¬رود و علاوه بر تهيه تصاوير بزرگ¬نمايي¬شده، درصورتي¬كه به تجهيزات اضافي مجهز شود، مي¬تواند براي آناليز شيميايي و ديگر بررسي¬ها نيز استفاده شود. اين ميكروسكوپ از جمله ميكروسكوپ¬هاي الكتروني مي¬باشد كه داراي وضوح بسيار بالاتري نسبت به ميكروسكوپ¬هاي نوري مي¬باشند. به¬عنوان مثال، با ميكروسكوپ¬هاي نوري مي¬توان به وضوحي تا حدود 200 نانومتر رسيد، درحالي¬كه با ميكروسكوپ¬هاي الكتروني نظير ميكروسكوپ الكتروني روبشي، وضوح تا حدود چند نانومتر و حتي پايين¬تر از يك نانومتر در دسترس است. مبناي اين ميكروسكوپ، برهم¬كنش پرتوي الكتروني با ماده است.
هدف از اين سمينار بررسي آشكارسازهاي مورد استفاده در ميكروسكوپ الكتروني روبشي است. در اين سمينار چند نوع از آشكارسازهاي الكتروني بررسي كلي شده و آشكارساز نيمه¬هادي با توجه به امكان ساخت آن مورد بررسي دقيق¬تري قرار گرفته است.
