چکيده
چكيده
ميكروماشينها در استفاده از بسياري از رشته ها بسيار تكثير يافته است. علاقه زيادي به حسگرهاي جريان
ميكروماشين به دليل مزاياي استفاده هزينه كم، كوچكسازي، مصرف تـوان پـايين، حساسـيت بـالا و ادغـام بـا
مدارهاي درون تراشه ايجاد شده است. در اين سمينار به بررسي نظريه سنجش جريان حرارتـي و غيرحرارتـي بـا
توجه به حالتهاي عملي در دسترس پرداخته شـده اسـت. خـواص مـواد مربـوط بـه سـنجش جريـان حرارتـي
ميكروماشين و معيارهاي انتخاب نيز ارائه شده اسـت. سـرانجام، كاربردهـاي اخيـر حسـگرهاي جريـان حرارتـي
ميكروماشين ارائه شده است. در انتها جدول مفصل دستگاههاي مورد بررسي گنجانده شده است.
كليدواژه: MEMS ، ميكروماشين، سنسور جريان حرارتي.
