7386

بررسي منابع تغذيه فركانس بالا جهت لايه نشاني با استفاده از روش كندوپاش

98-99

دكتر ياوند حسني

در صنعت از منابع مختلفي براي دستگاه‌هاي لايه¬نشاني استفاده مي‌شود. انتخاب منبع تغذيه مطلوب با توجه به شرايط لايه نشاني صورت مي‌گيرد. منابع تغذيه مورد استفاده شامل منبع تغذيه‌ي DC، AC، RF و Pulsed-DC مي‌باشند. در اين پژوهش منبع تغذيه‌ي RF مورد بررسي قرار گرفته شده است. منابع تغذيه‌ي RF به‌طور معمول داراي فركانس كاري MHz56/13 هستند و بسته به كاربرد با توان‌ها ولتاژهاي خروجي مختلف ساخته مي‌شوند. به‌طور خلاصه در اين تحقيق پس از مروري بر تعاريف اوليه‌ي پلاسما به بررسي نمونه‌هايي از مدار تقويت‌كننده‌ي منابع تغذيه‌ي پلاسما و سپس نمونه‌هايي از مدارهاي تطبيق براي اين نوع از منابع تغذيه خواهيم پرداخت.

6/1/2020 12:00:00 AM

68198

1399/05/07