8127

بررسي اتصال آندي

1397

دكتر هادي خرمي شاد

دكتر مهدي مقيمي

امروزه روش¬هاي مختلفي براي اتصال قطعات در صنعت وجود دارد كه هر يك از آن¬ها داراي مزايا و معايبي مي¬باشد و كاربردهاي مختص به خود را دارد. يكي از اين روش¬ها اتصالات آندي مي¬باشد¬ كه به خوبي نياز صنعت به اتصال با استحكام بسيار قوي در مقياس¬هاي كوچك را برطرف مي¬نمايد. در فرآيند اتصال آندي دو ويفر كه معمولا يكي از آن¬ها شيشه و نقش كاتد را ايفا مي¬كند و ديگري كه معمولا مواد فلزي ، نيمه رسانا و حتي آلياژهاي مواد مختلف را شامل مي¬شود و نقش آند را ايفا مي¬كند به كمك اعمال ولتاژ در دماي اتصال كه كمتر از دماي خميري شدن شيشه مي¬باشد به هم اتصال مي¬يابند. اين تحقيق به بررسي كامل اتصالات آندي پرداخته است با توجه به اينكه امروزه صنعت به سمتي پيش¬رفته است كه، نياز به قطعات با ابعاد كوچكتر و كارايي بيشتر حس مي¬شود اين روش اتصال گزينه مناسبي براي برآوردن اين نياز مي¬باشد. به همين دليل علايق بسياري در صنعت و دانشگاه¬ها در مورد اين نوع اتصال بوجود آمده است و در دو دهه اخير تحقيقات زيادي در اين مورد صورت گرفته است و مطابق انتظار پيشرفت¬هاي زيادي نيز حاصل شده است. ابتدا توضيح مختصري در مورد اين نوع اتصال ارائه شده است سپس روند پيشرفت و مكانيزم انجام آن را در شرايط مختلف بررسي كرده و توضيحات كامل ارائه شده است و پس از آن به بررسي موادي كه به اين روش قابل استفاده هستند و پارامترهايي كه بر روي آن تاثيرگذارند پرداخته شده است و در آخر شرايط مختلف آزمايشگاهي براي ايجاد اين اتصال و مشكلات و معايبي كه در حين برقراري اين اتصال وجود دارد را شرح داده و راه حل¬هايي ارائه گرديده است.

6/14/2020 12:00:00 AM

70286

1399/10/29

Examination of Anodic bonding

اتصال آندي، سيستم هاي ميكروالكترونيك، انتخاب گلس ها، سختي سطح

Anodic bonding, MEMS, Glass choosing, Surface roughness