8355

اسپاترينگ و ايجاد لايه نازك بدون استفاده از گاز آرگون

96-98

دكتر محمد رضا زماني ميميان

دكتر مسعود هاشمي نياسري

در اين پژوهش، لايه نازك مس نيترايد با دستگاه كندوپاش مغناطيسي بر روي زير لايه شيشه و بدون استفاده از گاز آرگون تحت تاثير ولتاژ باياس‌هاي مختلف0، 50، 150و250 ولت لايه نشاني شد

1/1/1900 12:00:00 AM

70854

1400/02/13

Investigation of morphology and structure of copper Nitride films deposited by reactive magnetron sputtering

ولتاژ باياس , گاز آرگون

DC bias voltage , nitrogen atmosphere