-
شماره ركورد
10296
-
شماره راهنما(اين فيلد مربوط به كارشناس ميباشد لطفا آن را خالي بگذاريد)
10296
-
پديد آورنده
زهره نجفي
-
عنوان
مطالعه ريزساختارهاي ناشي از تابش دهي سطح سيليكون با ليزر پالسي بلند
-
مقطع تحصيلي
كارشناسي ارشد
-
رشته تحصيلي
فيزيك - اتمي مولكولي
-
سال تحصيل
شهريور ماه 1390
-
تاريخ دفاع
شهريور ماه 1390
-
استاد راهنما
دكتر محمد حسين مهديه
-
چكيده
در اثر تابشدهي هدف نيمه رسانا با ليزرهاي پالسي با شدت نسبتاً كم، ناصافيهايي در ابعاد ميكروني ايجاد مي شوند.
در اين پايان نامه ساختارهاي زير ميكروني حاصل از تابش دهي هدف سيليكوني(نوعp) با استفاده از ليزر پالسي نانو ثانيه ، بطور تجربي مورد مطالعه قرار گرفته است. تابش دهي با استفاده از هارمونيك دوم ليزر Nd:YAG با طول موج nm 532 و طول پالس ns 9 و شاري در حدود چند Jcm -2 در محيط هوا صورت گرفته است. بررسي هاي كيفي با استفاده از ميكروسكوپ اپتيكي و ميكروسكوپ روبشي الكتروني(SEM) انجام شده است. نتايج بدست آمده نشان مي دهد ساختارهاي بوجود آمده در شار و تعداد پالس بخصوصي تشكيل مي شوند و تعداد پالس و شار ليزر در اندازه ساختارها تأثير مي گذارند.
واژه هاي كليدي: ليزر Nd:YAG، سيليكون، ميكروساختار، ناصافي
-
لينک به اين مدرک :
