11669

11669

طراحي يك سيستم شناسايي عيوب كريستال با استفاده از پردازش تصوير

كارشناسي ارشد

كامپيوتر - مهندسي فناوري اطلاعات و ارتباطات - مخابرات امن

زمستان 1391

زمستان 1391

دكتر محمد رضا دليري

چكيده در فرآيند ساخت و برش تراشه هاي نيمه هادي و كريستال هاي اپتيكي، معايبي در ساختار و سطوح آنها ايجاد مي شود. كيفيت و عملكرد اين كريستال ها، به نوع و ميزان اين عيوب بستگي دارد. با استفاده از روش هاي مختلفي، اين عيوب شناسايي مي گردد. شناسايي عيوب ماكروسكوپي و تنش هاي موجود بر روي كريستال با استفاده از دستگاه تنش سنج آنالوگ صورت مي گيرد. اين دستگاه، تنش هاي ايجاد شده بر روي كريستال را به صورت نواحي رنگي نشان مي دهد. كاربرتنها مي تواند به صورت دستي، با بازديد چشمي اين نواحي را تشخيص دهد. در اين پايان نامه با استفاده از سيستم تصوير برداري، متناسب با شرايط خاص دستگاه از نواحي رنگي ايجاد شده، تصوير برداري و تصاوير به كامپيوتر انتقال داده مي شود، سپس با استفاده از ابزار پردازش تصوير، نواحي رنگي مطلوب و غيرمطلوب (داراي عيب) تصوير، انتخاب و سپس استخراج مي گردد. در مرحله بعد با استفاده از طبقه بندي نظارت شده ماشين بردار پشتيبان دو كلاسه ، سيستم آموزش داده مي شود تا شناسايي عيوب به صورت خودكار صورت گيرد. با روشهاي بكار برده شده، معايب كريستال آناليز و پارامترهاي مورد نظر در آن، از نظر كيفي و كمي، تجزيه و تحليل مي گردد. الگوريتم پيشنهادي بر روي تصاويررنگي با ابعاد 1800*1800 پيكسل پياده سازي شد. توانايي طبقه بندي كننده SVM دوكلاسه در شناسايي نواحي رنگي مطلوب تصوير 98.6% پيكسل ها و نواحي رنگي داراي عيب آن 99.2% مي باشد. نتايج نشان مي دهد با انتخاب ويژگي مناسب، پيكسل ها ي نواحي داراي عيب تصوير از نواحي بدون عيب با دقت بالايي جداسازي گرديد. طرح پيشنهادي كمك شاياني بر روي آناليز و شناسايي شدت عيوب ايجاد شده روي كريستال ها را دارد. واژه‌هاي كليدي: پردازش تصوير، شناسايي عيوب، رشد كريستال، طبقه بندي نظارت شده، ماشين بردار پشتيبان .